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光刻膠領(lǐng)域，我國取得新突破
發(fā)布時間：2025-12-01 08:16:02 來源：素昧平生網(wǎng) 作者：焦點
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每經(jīng)AI快訊，域國光刻技術(shù)是新突推動集成電路芯片制程工藝持續(xù)微縮的核心驅(qū)動力之一。近日，光刻北京大學(xué)化學(xué)與分子工程學(xué)院彭海琳教授團隊及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術(shù)，膠領(lǐng)首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的域國微觀三維結(jié)構(gòu)、界面分布與纏結(jié)行為，新突指導(dǎo)開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的光刻產(chǎn)業(yè)化方案。相關(guān)論文近日刊發(fā)于《自然·通訊》。膠領(lǐng)
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